在晶圆加工设备中,光刻机、刻蚀机、PVD设备的占比分别为30%、20%、15%;CVD设备和量测设备各占10%;离子注入机、CMP设备以及扩散设备各占5%.。
各细分市场空间均较大, 按照2017年全球晶圆加工设备455亿美元来计算,最小的细分市场空间亦超过20亿美元。