纳米压痕仪，是一种基于力与压入深度关系，对材料硬度、杨氏模量等参数进行测试的仪器，可以从微纳米尺度上实现材料结构、力学性能的分析研究。
传统压痕测试方法存在压痕尺寸要求大、测量参数种类少、适用材料范围窄、受人为因素影响大等缺点。纳米压痕仪无需观察压痕面积，可在微纳米尺度上进行测量，测量参数包括材料的力学性能、局部特征等，是一种新型测量方法，成为分析材料微纳力学性能的重要仪器之一。
纳米压痕仪主要由成像系统、传感器、控制模块、压头、隔离罩、样品台等构成，压头是重要组成部分，制造材料通常采用金刚石，利用金刚石压头对被测材料造成压痕，根据力与压入深度曲线计算得到材料的硬度、杨氏模量等参数。
纳米压痕仪具有样品制备简单、直接测量、无损检测、空间分辨率高、测量精度高、适用材料范围广、操作方便等优点，测量参数除了硬度、杨氏模量外，还包括塑性、断裂、黏弹等参数，可以测量金属、合金、陶瓷、玻璃、薄膜、矿石、磁性材料、半导体材料、有机高分子聚合物、光学材料、镀层/涂层、生物组织等。
纳米压痕仪可以实现材料的接触刚度、断裂韧性、附着性能、摩擦磨损性能、蠕变性能、塑性等研究分析，可以测试硬质材料、软质材料，能够广泛应用在材料科学、光学、生物学、医学、药学、冶金、化工、油漆涂料、半导体、电子、矿产等领域。
2023年，全球纳米压痕仪市场规模约为16.3亿元；预计2023-2029年，全球纳米压痕仪市场年复合增长率为6.7%，发展到2029年市场规模将达到24.0亿元左右。在全球市场中，欧洲地区纳米压痕仪需求占比最高，超过50%，接下来是北美地区，超过30%，目前亚洲地区需求占比较小，但增长速度较快。
在全球范围内，纳米压痕仪研发生产商主要有美国布鲁克（Bruker）、美国Micro Materials、美国NANOVEA、美国KLA、德国ZwickRoell、德国Helmut Fischer、奥地利安东帕（Anton Paar）、匈牙利Semilab、荷兰Optics11 Life、瑞士FemtoTools、日本Elionix等。全球纳米压痕仪厂商主要集中在欧美国家中，其中，奥地利安东帕（Anton Paar）市场份额占比最大，达到27%，排名前五企业合计份额占比达到60%以上，市场集中度较高。