晶圆甩干机（SRD）指用于清洗和干燥晶圆的设备。晶圆甩干机具有结构多样、洁净度高、可实现自动控制、工作效率高、对晶圆损伤小等优势，在半导体制造领域拥有广阔应用前景。按照工作原理不同，晶圆甩干机可分为振动式晶圆甩干机、气流式晶圆甩干机以及离心式晶圆甩干机三种类型。
晶圆甩干机通常由甩干筒、转轴、旋转架、轴套等组件构成。在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国晶圆甩干机组件高度依赖进口。近年来，伴随本土企业持续发力，我国晶圆甩干机组件市场国产化进程不断加快，这将为晶圆甩干机行业发展奠定良好基础。
晶圆甩干机在晶圆制造领域需求旺盛。近年来，伴随全球半导体产业向我国大陆转移，我国晶圆产能持续扩张。2023年我国晶圆月均产能达到近660万片，同比增长近15%。晶圆甩干机能有效去除晶圆表面水分，提升晶圆生产效率及质量。未来随着应用需求持续增长，我国晶圆甩干机行业发展速度将有所加快。
近年来，国家对于晶圆制造行业发展高度重视，已出台多项鼓励政策，包括《关于推动能源电子产业发展的指导意见》、《鼓励外商投资产业目录（2022年版）》、《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》等。未来伴随国家政策支持，晶圆甩干机作为晶圆制造重要设备，行业发展态势将持续向好。
我国晶圆甩干机市场参与者众多，主要包括泉芯半导体科技（无锡）有限公司、谷微半导体科技（江苏）有限公司、河北中科微电子有限公司、昆山康达斯机械设备有限公司、常州科沛达超声工程设备有限公司、无锡奥曼特科技有限公司。但目前，我国晶圆甩干机市场以小规模企业为主，行业集中度较低。预计未来一段时间，具备高性能晶圆甩干机自主研发实力的企业将成为行业龙头。
随着我国晶圆产能持续扩张，晶圆甩干机应用需求不断增长，行业发展态势持续向好。目前，受市场前景吸引，我国已有多家企业布局晶圆甩干机行业研发及生产赛道。未来伴随技术进步，我国晶圆甩干机行业集中度有望提升。