深紫外石英玻璃，是对深紫外波长的光具有优良透过率的石英玻璃。深紫外光具有高能量特性，在科研、工业、医疗卫生、水处理等领域应用需求大。
　石英玻璃光学性能优异，可良好透射紫外到红外波段的光，且硬度大、耐高温、耐腐蚀、电绝缘，可用来制造光学透镜、光学窗口等。紫外石英玻璃是少数能够应用在深紫外波段的光学材料之一，深紫外石英玻璃具有光学损耗极低、损伤阈值极高的优点。
　　深紫外石英玻璃可用来制造深紫外发光二极管。深紫外发光二极管具有杀菌功能，可快速杀灭细菌并且无副作用，能够应用在空气净化、饮用水处理、工业用水处理等、杀菌消毒等方面，进而应用在市政、环保、食品加工、医疗卫生、工业生产等领域。
　　深紫外石英玻璃可用来制造深紫外激光器。深紫外激光器可用来制造光刻机，应用在半导体领域；可以用来制造激光加工设备，以及用于工业光催化、紫外固化等方面；也可用来制造各种分析仪器，例如光谱分析仪、显微镜等；还可以用于眼科手术、光学成像等医疗领域。
　　深紫外光是短波长的不可见光，能够良好透过短波光的光学材料种类较少，深紫外石英玻璃是常用材料之一。在全球范围内，深紫外石英玻璃生产商主要是美国康宁（Corning）、德国肖特（Schott）等。与国外企业相比，我国深紫外石英玻璃企业在规模、研发能力、技术工艺等方面实力存在不足，未来还有较大进步空间。
　　2023年9月，中国建筑材料联合会发布第三批全国建材行业重大科技攻关“揭榜挂帅”项目榜单，高纯紫外高透射合成石英研发、超均匀深紫外石英玻璃开发被列入其中，有望推动我国深紫外石英玻璃行业发展壮大。同时，我国半导体、激光加工、科学仪器、医疗等产业发展迅速，市场对深紫外光学材料需求持续增长，也利好深紫外石英玻璃行业发展。
　　神光光学集团有限公司是我国高端合成熔石英玻璃代表性供应商之一，采用直接合成法研制出高品质紫外熔石英玻璃，推出高纯紫外熔石英玻璃AURA 0511，可应用于科研、精密光学、光刻技术、半导体制程等领域。未来，在国家政策与市场需求的推动下，我国深紫外石英玻璃优秀企业有望不断增多。