半导体废气处理设备，又称半导体专用工艺废气处理设备，指在半导体制造业中用于处理和净化生产过程中所产生有害气体的关键设备。半导体废气处理设备需具备废气处理能力强、运行成本低、能耗低等特性，能够降低酸性气体、有机化合物以及碱性气体等有害气体的排放量。
   半导体废气处理设备种类极为丰富，主要包括干法洗涤器、湿法洗涤器、焚烧炉、催化氧化装置、生物过滤器、活性炭吸附器、冷凝器、等离子体净化器等。不同类型半导体废气处理设备，其适用场景也有所不同。湿法洗涤器主要包括电热水洗、燃烧水洗、等离子水洗三种方式，能够有效去除废气中的液态或固态粒子，具有体积小、结构简单、净化效率高等优势。
   近年来，在国家政策推动下，我国半导体制造业逐渐往环保方向发展。2023年12月，国家生态环境部发布《关于印发集成电路制造等四个行业建设项目环境影响评价文件审批原则的通知》，文件明确提到要严格防控集成电路制造项目环境风险，提升企业减排意识。未来伴随国家政策支持，半导体废气处理设备作为环保设备，行业发展态势将持续向好。
   半导体废气处理设备能够有效处理半导体制程中产生的各类有害气体，在应用需求带动下，其行业发展速度不断加快。2023年全球半导体废气处理设备市场规模达到近15亿美元，同比增长近8%。在本土方面，伴随环保观念不断深入，我国半导体废气处理设备市场规模持续增长，2023年达到近3亿美元。
   全球半导体废气处理设备主要生产商包括德国戴思环保公司（DAS）、英国爱德华公司（Edwards）。在本土方面，受市场前景吸引，我国半导体废气处理设备生产企业数量不断增长，带动其市场竞争日益激烈。京仪装备、盛剑环境、合肥亚笙、协微环境、格林斯达环保、万业企业、利微成科技等为我国半导体废气处理设备主要生产商。
   受益于我国半导体产业发展速度加快，半导体废气处理设备应用需求日益旺盛。未来伴随技术进步以及国家政策支持，我国半导体废气处理设备行业发展空间将进一步扩展。在市场竞争方面，我国半导体废气处理设备生产企业众多，未来具备高性能产品生产实力的企业将占据市场更大空间。