ITO（氧化铟锡）靶材是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种，在显示靶材中占比将近50%。
ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺工成型，再高温气氛烧结（1600度，通氧气烧结）形成的黑灰色陶瓷半导体。ITO靶材有中低端和高端之分：中低端ITO靶材有玻璃镀膜靶材、发热膜和热反射膜靶材，包括汽车的显示屏、一些仪器仪表的显示。高端ITO靶材主要用于显示器薄膜靶材、集成电路薄膜靶材以及磁记录和光记录膜靶材，尤其用于大面积、大规格的LED、OLED等领域，具备高密度、高纯度、高均匀性等特点。
全球高端ITO靶材供应商主要为日本能源、东曹和三井矿业，2019年需求约1680吨，中国需求占比49%。
目前ITO靶材制备几乎由日、韩垄断，代表企业有JX日矿金属、三井矿业、东曹、韩国三星等，其中日矿和三井两家几乎占据了高端TFT-LCD市场用ITO靶材的全部份额和大部分的触摸屏面板市场，每家年供应量据称达到600吨以上。目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。
目前国内大约有20多家ITO靶材企业，经过多年发展，已从小量生产逐渐演变成规模化生产。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场，仅占国内市场30%的份额；而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口，占据了70%的市场份额。
工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2017年版）》，提出了平板显示用ITO靶材、平板显示用高纯钼靶材等重点新材料的应用领域。伴随ITO技术和产能突破瓶颈，国产ITO靶材凭借成本和性价比优势将逐步占领市场。