MEMS传感器，又称微机电系统传感器，按照检测物理参数不同，可分为MEMS温度传感器、MEMS压力传感器、MEMS气体传感器、MEMS声音传感器等多种类型。MEMS气体传感器，指能够检测周围环境中特定气体，并将检测到信息转化为电信号的MEMS传感器，在环境监测、工业安全监控、医疗健康、消费电子等领域拥有广阔应用前景。
    MEMS气体传感器基于MEMS技术制成。MEMS技术，又称微机械加工技术，指将微加工技术与集成电路制造技术相结合，用于制备执行器、传感器等器件的技术。与海外发达国家相比，我国MEMS技术研究起步较晚，本土企业及科研机构于上世纪八十年代才开展相关产品的开发工作。经过多年发展，我国MEMS技术不断创新突破，带动MEMS气体传感器行业发展速度有所加快。
   气敏材料为MEMS气体传感器重要基材，能够检测气体浓度以及主要成分。氧化钴、氧化锡、氧化锌等金属氧化物半导体材料常用作MEMS气体传感器的气敏材料。氧化锡对于甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、硫化氢（H2S）等还原性气体具备较高灵敏度，以其为气敏材料制成的MEMS气体传感器在环境污染气体检测场景应用较多。
   MEMS气体传感器具备抗震性好、灵敏度高、使用寿命长、驱动电路简单、体积小、轻量化等特点，在众多领域拥有广阔应用前景。在环境监测领域，MEMS气体传感器可用于监测室内空气质量、工业废气排放浓度、水质及土壤污染程度等。未来伴随国家环保政策逐渐落地实施，MEMS气体传感器作为环境监测仪器，市场空间将进一步扩展。
   我国MEMS气体传感器主要生产商包括中国兵器工业集团有限公司、微纳感知（合肥）技术有限公司、广东增敏科技有限公司等。2024年7月，增敏科技自主研发的第三代热导式MEMS数字气敏传感器正式投产，产品可与各种控制系统进行集成，未来有望在工业领域获得应用。
    MEMS气体传感器综合性能优良，在众多领域拥有广阔应用前景。未来伴随MEMS技术不断进步以及市场需求逐渐释放，我国MEMS气体传感器行业发展态势将持续向好。目前，我国已有多家企业具备MEMS气体传感器自主研发及生产实力，未来其行业景气度将进一步提升。