质量流量控制器简称MFC，是一种可以测量质量流量及控制气体质量流量的装置。MFC组成结构包括信号处理和运算模块、传感器模块、控制模块等，硬件和软件算法是其核心难点，具体包括信号处理算法、处理模块电路设计等方面。
　　根据检测原理不同，MFC可分为热式、压差式、转子式、科里奥利式等，其中热式MFC、压差式MFC为主流MFC，尤其是热式MFC。热式MFC具有使用方便、价格便宜、流体范围广等优势，但测量精度较低，在光伏、面板等泛半导体领域中应用居多。在精度要求高的半导体刻蚀、实验室研究等场景，以压差式MFC应用居多，压差式MFC具有响应速度快、测量精度高、测试重复性好、压损小等特点。
　　近年来，为适应更微小气流的检测和控制，与微电子机械系统（MEMS）结合的新型MFC也逐渐涌现出来。基于MEMS的MFC可分为热损失型、热温差型、热脉冲型三大类，其中热温差型MFC是目前研究热点。
　　MFC是现代工业和实验室中不可缺少的仪器，应用领域广泛。近年来，受下游半导体、光伏、生物医药等领域驱动，我国MFC市场规模不断扩大，2023年我国半导体用MFC市场规模达20亿元以上，预计2024-2028年，我国半导体用MFC市场将以4.0%以上的年均复合增长率增长。
　　MFC技术壁垒高，在国际市场上，美国布鲁克斯（Brooks）、美国MKS、日本株式会社堀场制作所（HORIBA）等企业占据MFC市场大部分份额，此外MFC相关供应商还包括德国宝得（Burket）、日本富士金株式会社（Fujikin）、瑞士Serrien等企业。
　　国内MFC市场参与者包括北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）、陕西易度智能科技有限公司（易度智能）、青岛芯笙微纳电子科技有限公司（青岛芯笙）、九未实业上海有限公司等。近年来，随着技术进步，我国企业在MFC领域接连取得突破，如易度智能的MFC已顺利通过CPA认证、欧洲CE认证。
　　目前热式MFC是最主流的MFC产品，但其测量精度不及压差式MFC，市场份额呈下降趋势，压差式MFC是未来发展趋势。我国MFC国产化率低，尤其是半导体用MFC，市场需求几乎全部依赖进口，在中美贸易战不断加剧背景下，我国企业亟需加快半导体用MFC国产化进程。