半导体磁流体密封装置又称液体O型密封圈，是指用于半导体工艺设备中的磁流体密封装置。
　　半导体工艺设备包括单晶硅炉、液晶再生设备、化学气相沉积设备、刻蚀设备、镀膜设备等。半导体工艺设备的工艺腔室中常设置有传动部件，为避免杂质和气体影响，半导体制造需要严格的密封环境，为确保旋转部件与腔室本体之间的密封性，需采用密封装置来实现密封作用。
　　磁流体密封装置具有长寿命、无磨损、零泄漏、无污染、可靠性优良等优势，能够满足半导体制造中高精度、高纯度、高密封性的要求。磁流体密封装置是半导体设备常用密封装置，此外磁流体密封装置在航天航空、真空技术、石油化工、医疗设备、新能源、深空探测等领域也有广泛应用。
　　磁流体密封装置通常由磁流体、永久磁铁、轴承、磁极片、可导轴或轴套、不导底座等组成。磁流体是磁流体密封装置的核心之一，由纳米级磁性颗粒、基载液和界面活性剂组成。磁流体具有磁场下迅速响应的特点，其形状、流动特性随着磁场强度、方向改变而改变。
　　半导体磁流体密封装置行业技术壁垒较高，长期以来，市场一直由日美企业垄断，尤其是日本企业，包括日本Ferrotec、日本NOK、日本Rigaku等公司。我国半导体磁流体密封装置国产化起步晚，目前国产化率尚低，浙江微磁半导体科技有限公司（浙江微磁）是推动其国产替代的主要企业。
　　浙江微磁专业从事磁流体、磁流体真空密封件等产品的研究、开发、生产和销售，2024年7月，其“磁流体密封模组生产基地项目”开工，该项目总投资10.5亿元，将打造出磁性流体功能材料和磁流体密封模组研发、生产、销售于一体的产业基地和磁流变液减震模组生产基地；同年9月，浙江微磁成功完成数千万天使轮融资，融资将用于义乌产业基地扩产建设及磁性流体功能材料、磁流体密封模组的研发、生产、销售。
　　近年来，我国取得了多项半导体磁流体密封装置相关专利，如北京北方华创微电子装备有限公司的《磁流体密封装置和半导体工艺设备》、杭州维科磁电技术有限公司的《一种硅单晶炉磁流体密封装置》、无锡翔域半导体有限公司的《一种用于离子注入机的磁流体密封机构》等，这为半导体磁流体密封装置国产化发展提供了技术支撑。此外随着浙江微磁义乌产业基地扩产建设，我国半导体磁流体密封装置国产化进程将持续推进。