准分子激光器是是一种气体激光器，通常由增益介质、泵浦源、光学谐振器等组成。准分子激光器以激发二聚体（准分子）作为增益介质，如氟化氩（ArF）、氟化氪（KrF）、二氯化氙（XeCl）等，通过脉冲放电泵浦在紫外区域产生纳秒级脉冲。
　　准分子激光器可以发出准分子激光，准分子激光是一种超紫外线光束，同时也是一种冷光源，具有高单色性、高功率、高稳定性等特点。准分子激光器在半导体光刻、平板显示制造、医疗器械、工业制造、科学研究等领域应用广泛。
　　在医疗器械领域，基于准分子激光的穿透力弱、无热效应等特点，准分子激光器可用于近视屈光、混合散光等眼科疾病治疗中。近年来，随着眼科疾病患者增加、激光视力矫正技术发展，医用准分子激光器在全球的应用日益广泛。
　　准分子激光器诞生于上世纪60年代，经过多年发展积累，商用准分子激光器系列不断丰富，生产企业包括美国Coherent、Cymer、德国MLase AG、日本Gigaphoton、加拿大LightMachinery、俄罗斯Optosystems等国外企业，以及深圳盛方科技有限公司、中山普宏光电科技有限公司、合肥意克赛激光科技有限公司、北京科益虹源光电技术有限公司等国内企业。
　　美国Coherent是全球最大的准分子激光器生产商之一，但美国“实体清单”政策限制中国用户购买其高科技产品，或将限制准分子激光退火等技术向外出口。在此背景下，国产准分子激光器有望成为半导体制造、工业加工、医疗等企业的首选。
　　近年来，我国企业在准分子激光器领域取得了显著突破，如盛方科技基于中国科学院四十年的研发经验和相关技术成果，率先推出了一系列具有自主知识产权的国产高端中小功率准分子激光器，并获得了市场高度认可。2025年1月，盛方科技宣布完成数千万元人民币的A轮融资，融资将用于加强大功率准分子激光器的研发及生产规模扩张。
　　随着制造业转型升级，准分子激光器在半导体光刻、工业加工、平板显示制造、医疗等应用需求正快速释放，市场发展空间广阔。相比于同等质量的进口产品，国产准分子激光器具有性价比更高、售后服务更快捷等优势，同时叠加国产替代趋势，近年来，国产准分子激光器越来越受市场青睐。