碳化硅功率半导体测试设备是指用于测试碳化硅（SiC）功率半导体器件性能的设备，其能够评估碳化硅功率半导体器件在各种条件下的电气特性、可靠性和稳定性，确保实际应用稳定性。
　　碳化硅是第三代半导体材料，具备高能带宽度、低导通电阻、耐高频、耐高温、耐高压等特性，在电子电气、耐火材料、磨料磨具等领域应用日益广泛。基于碳化硅的功率半导体器件具有比硅基器件更高的电场强度、电子饱和速度，在可再生能源、智能电网、新能源汽车、移动通信、医疗影像等领域应用潜力广阔。
　　近年来，碳化硅功率半导体市场发展蓬勃，2024年全球市场规模约42亿元，预计2028年，这一市场规模将突破85亿美元。碳化硅功率半导体市场发展，带动碳化硅功率半导体测试设备需求快速释放。
　　碳化硅功率半导体测试设备需具备极高的精度、响应速度和工作稳定性，由于开发难度大，全球碳化硅功率半导体测试设备主要由国外企业供应，包括美国泰瑞达Teradyne、科磊（KLA）、日本爱德万（ADVANTEST）、日立高新、Lasertec公司等。
　　国外企业在碳化硅功率半导体测试设备市场上具有明显的技术、先发优势，我国市场起步较晚，碳化硅功率半导体测试设备进口依赖度高。但作为全球碳化硅器件生产大国，近年来我国碳化硅功率半导体测试需求旺盛，倒逼碳化硅功率半导体测试设备国产替代进程加快。
　　长川科技、忱芯科技、阅芯科技、华峰测控、联动科技、金海通、华科智源、广立微等企业是国内半导体测试设备重要供应商，将成为推动碳化硅功率半导体测试设备国产化进程主力军。
　　如忱芯科技的碳化硅功率半导体测试系统产品线涵盖了SiC基功率半导体器件的测试环节，可满足实验室与生产线多种场景需求，近期忱芯科技完成了由国投创业领投的超2亿元B轮及B+轮融资，融资将用于公司前瞻产品研发、新产品量产及全球化业务布局。
碳化硅功率半导体测试设备在碳化硅功率半导体生产制造过程中具有高应用价值，随着碳化硅功率半导体市场蓬勃发展，其市场需求将持续释放。碳化硅功率半导体测试设备开发存在诸多技术难点，国外企业占据全球市场主导，但在中美科技战、国产替代背景下，我国企业核心竞争力也在不断提升。