射频离子源，指利用射频电场来实现气体电离，进而产生等离子体和离子束的装置。相比其他类型离子源，射频离子源具备使用寿命长、可调节能量分散低、离子产率高、安全稳定性好等优势，在医疗卫生、半导体制造、通信系统、材料科学等领域应用较多。
为规范市场发展，我国有关部门已出台多项射频离子源相关行业标准及团体标准。2024年12月，中国商业企业管理协会发布团体标准《T/ACCEM 456—2024 离子辅助沉积用射频离子源》，文件对于射频离子源的试验方法、检验规则、产品参数以及技术要求等内容进行了明确规范。未来伴随行业标准不断完善，我国高品质射频离子源市场占比有望提升。
射频离子源用途广泛，主要包括医疗卫生、半导体制造、通信系统、材料科学等。在医疗卫生领域，射频离子源可用于医疗器械表面处理、药物合成、癌症治疗等场景；在半导体制造领域，其可用于晶圆刻蚀工艺以及薄膜沉积工艺中，该领域为其最大需求端；在材料科学领域，其可用于制造光学薄膜。
全球射频离子源市场主要参与者包括美国Kaufman & Robinson,Inc公司（KRI）、美国Denton Vacuum公司、德国SCIA Systems公司、德国IPT公司等。美国KRI公司推出的考夫曼离子源具备离子束浓度低、可提供高能量等优势，在镀膜、刻蚀、离子清洗、离子抛光等工艺中应用广泛，为全球射频离子源代表企业。
在行业发展初期，受技术壁垒高、运行成本高等因素限制，我国射频离子源高度依赖进口。近年来，随着本土企业持续发力，我国射频离子源市场国产化进程有所加快。博顿光电、福光股份、鑫立离子技术、中核同创等为我国射频离子源主要布局企业。博顿光电专注于离子束技术及其设备产品的研发、制造和应用，目前已开发出矩形射频离子源等离子源产品。2024年9月，博顿光电完成亿元B轮融资，资金将用于开发高性能离子束设备。
射频离子源在众多领域拥有广阔应用前景，未来伴随全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，其市场需求将进一步增长。在市场竞争方面，欧美国家长期占据全球射频离子源市场主导地位。近年来，受益于技术进步，我国国产射频离子源市场占比有所提升。