高纯氙气，指纯度大于等于99.999%的稀有惰性气体。高纯氙气具备化学稳定性好、发光性能佳、密度高、纯度高等特点，在医疗卫生、半导体制造、照明器件以及航空航天等众多领域拥有广阔应用前景。
提纯为高纯氙气制备关键环节，包括高温提纯（HTP）和低温提纯（LTP）两种。高温提纯指在高温加热状态下对氙气进行提纯操作；低温提纯指先将氙气转化为固体，再经过低温蒸馏、分离等流程制得成品，该法在高纯氙气制备过程中应用较多。
高纯氙气在众多领域拥有广阔应用前景，主要包括医疗卫生、半导体制造、照明器件以及航空航天等。在医疗卫生领域，高纯氙气作为麻醉气体，具备毒副作用小、能够迅速诱导麻醉等特点，还可用作CT扫描对比剂；在半导体制造领域，其可用于化学气相沉积、离子注入等半导体制造工艺中；在照明器件领域，其可用于制造氙气灯；在航空航天领域，其可用作飞机推进系统燃料。
高纯氙气属于特种气体。近年来，国家对于特种气体行业发展高度重视，已出台多项相关政策，主要包括《重点新材料首批次应用示范指导目录（2024年版）》、《产业结构调整指导目录（2024年本）》、《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》、《原材料工业“三品”实施方案》等。未来伴随国家政策支持，我国高纯氙气行业发展速度有望加快。
 我国高纯氙气主要生产企业包括河北东弘气体有限公司、杭州中泰氢能科技有限公司、河南纳新气体有限公司、湖北纽瑞德电子气体有限公司、扬州秦风特气新材料有限公司、北京中科富海低温科技有限公司等。纳新气体专注于稀有气体的研发、生产及销售，产品质量及纯度达到行业领先。中科富海已具备5N级高纯氙气和高纯氪气规模化生产实力。
高纯氙气性能优异，作为特种气体，应用范围较广。未来伴随市场需求逐渐释放，我国高纯氙气行业发展速度将进一步加快。受益于国家政策支持以及技术成熟度提升，我国高纯氙气市场参与者数量不断增长。预计未来一段时间，随着本土企业持续发力，我国高纯氙气产能将进一步扩张。