汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展,而起核心作用的元件是传感器。MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子中,如TPMS压力传感器、进气歧管压力传感器、大气压力传感器、发动机机油压力传感器、安全气囊用压力传感器等。MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
近年来,MEMS技术的发展为设计汽车传感器提供了新的重要途径。一些研究人员针对上述传统机油压力传感器存在的问题,提出一种新型基于MEMS技术的压力传感器,对压力敏感头的结构进行了设计,开发出精度高、性能可靠的传感器。压力敏感头是机油压力传感器的核心部件,是由MEMS压力敏感芯片、波纹膜片、陶瓷底座、TO底座、充油腔体及硅油等组成。在压力敏感头上装上信号调理电路,并装配在一个金属外壳中,即可构成机油压力传感器。
统计数据显示,
2018年华北地区MEMS压力传感器市场规模17.55亿元,2021年华北地区MEMS压力传感器市场规模22.02亿元。图表 2018-2022年3季度华北地区MEMS压力传感器市场规模