薄膜电容真空计是一种绝压、全压测量的真空计,原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。
统计数据显示,
2018年华北地区薄膜电容真空计市场规模0.575亿元,2021年华北地区薄膜电容真空计市场规模0.734亿元。图表 2018-2022年3季度华北地区薄膜电容真空计市场规模