三氯氢硅又名三氯硅烷，是一种无机化合物。依据品质差异，国标将三氯氢硅分为I类、II类，其中I类对三氯氢硅纯度要求更高，尤其限制铝、磷、铁等元素比例，主要用于多晶硅料生产，II类则面向硅烷偶联剂市场。近年来，中国三氯氢硅产量波动较大，2019年出现下降后2021年恢复增长，产量达40.4万吨，同比增长19.35%。2022年，中国三氯氢硅产量增至约42.3万吨。受到下游产业势头向好的影响，预计2023年中国三氯氢硅产量将达到42.9万吨，2024年将达到43.5万吨。

我国三氯氢硅行业市场格局较为分散，国内三氯氢硅产能分布情况中新安化工占比最多，达14.1%。唐山三孚占比达11.5%，排名第二和第三。新疆大全、河南尚宇、晨光新材也占据一定的市场份额，占比均为10.6%。