真空规是一种测量真空度的部件，由真空管、指针、尺度盘、密封杆等部分组成。真空规可用来测量物体的真空度，广泛用于高精度加工和测量领域，涉及到航天航空、半导体制造、科学研究、真空焊接、金属冶炼、光伏装备等领域。

随着真空测量技术发展，真空规种类日益多样，整体分为弹性变形真空规、液体真空规、热传导真空规、辐射计型真空规、电离真空规、粘滞性真空规六大类。为满足不断升级的市场需求，国际真空规产品正不断向小型化、集成化、一体化、智能化、高效率方向发展。

液体真空规是常见真空规之一，分为压缩式真空规、U型压力计。弹性变形真空规是利用弹性元件随气压变化产生变形来测量压差，可测量腐蚀性气体、可凝蒸气的压力。弹性变形真空规又分为布尔登规、波纹管规、薄膜真空规、压阻式真空规等。

根据原理不同，真空规性能不一，应用场景也有所差别。在低真空度中，薄膜真空规、压阻式真空规应用较多；在中真空度中，多选用电离真空规、皮拉尼真空规；在高真空度中，以电离真空规为主；在超高真空度中，热阴极真空规应用较广泛。

在半导体制造过程中，真空规可测量真空室内的压力和真空度，以保证半导体器件质量及性能。我国是全球最大的半导体市场，根据国家统计局数据显示，2023年1-10月，我国集成电路产量为2765.3亿块。随着半导体市场发展，真空规市场需求空间将随之扩大。

在全球市场上，真空规供应商有美国MKS、美国Fredericks、瑞士INFICON、安捷伦、爱德华、美国InstruTech、奥松电子、沈阳科晶自动化设备、晨阳真空仪器等。在半导体用真空规领域，我国企业市场占比较低，与国外企业相比，在技术水平、产品性能、测量精度、品牌知名度等方面存在一定差距。

真空规具有快速响应、稳定性高等优点，在工业制造、航天航空、半导体、科学研究等领域应用广泛。我国真空规供应商以中小型企业为主，品牌影响力较弱，在高端领域不占据优势，在市场需求升级背景下，我国企业仍需加大技术研发，提高创新能力及技术水平，增强自身竞争力。