碳化硅外延片，是指在碳化硅衬底上生长了一层有一定要求的、与衬底晶相同的单晶薄膜（外延层）的碳化硅片。中国碳化硅外延片产业自2022年进入快速成长期， 2023年中国碳化硅外延片整体市场规模已达到约16.24亿元。至2026年中国碳化硅外延片市场规模有望上升至107亿元。

碳化硅外延设备是一种用于在碳化硅衬底上生长外延层的设备，碳化硅外延设备在制造高质量碳化硅外延片和晶片方面具有广泛的应用。在下游需求刺激下，近两年中国碳化硅外延片生产商掷出了数倍的扩产计划，我国碳化硅外延设备市场规模持续增长。2023年中国碳化硅外延设备市场规模约13.07亿元。到2024年市场规模将增至20.87亿元，2026年增至26.86亿元。