电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。

一、电子特气的定义及分类

电子特气是指当气体中的电子浓度非常高时，电子的自由程比气体分子的自由程要短，导致气体分子与电子之间的相互作用显著增强，进而使气体分子电离并形成的一种高度电离的等离子体。电子特气具有高纯度、稳定性、多样性的特点，在电子工业中具有广泛的应用。

电子特气的类型繁多，每种类型都有其特定的用途和化学成分。

二、电子特气行业发展政策

电子特气作为关键性电子材料，近年来得到了国家产业政策的大力支持。国家发改委、科技部、工信部等部门相继出台了《产业结构调整指导目录》《原材料工业“三品”实施方案》《“十四五”原材料工业发展规划》《精细化工产业创新发展实施方案（2024—2027年）》等一系列产业支持政策，为电子特气行业的发展提供了良好的政策环境。

三、电子特气行业发展现状

1、全球电子特气市场规模

近年来，全球电子特气市场规模持续增长。

2023年全球电子特气市场规模56亿美元， 2024年全球电子特气市场规模将达60亿美元。

2、中国电子特气市场规模

中国电子特气市场规模同样呈现出稳步增长的趋势。2023年中国电子特气市场规模249亿元，随着集成电路和显示面板等半导体产业的快速发展，电子特气的需求将持续增长，2024年中国电子特气市场规模将达262.5亿元。

3、电子特气国产化率

国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破，自主供应能力不足。

我国电子特气国产化率较低，2020年电子特气国产化率仅14%，例如集成电路生产用的电子特气，我国仅能生产约20%的品种，所占国内市场份额仅为12%。预计2025年我国电子特气国产化率有望提升至25%。

4、电子特气下游应用

电子特种气体主要用于集成电路、显示面板、LED、光伏等领域。其中，集成电路占比最多，达43%。其次分别为显示面板、LED、光伏，占比分别为21%、13%、6%。

四、电子特气行业重点企业

1、中船特气

中船特气是国内领先、世界知名的电子特种气体供应商。中船特气的电子特气产品系列丰富，主要包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯四氟化硅、高纯氘气、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷、高纯电子混合气等。拳头产品三氟化氮年产能达9250吨、六氟化钨年产能达2230吨，均居世界前列。

2023年中船特气实现营业总收入16.16亿元，同比下降17.39%。归母净利润3.35亿元，同比下降12.55%。

2023年中船特气电子特种气体营业收入14.86亿元，占比91.94%。三氟甲磺酸系列营业收入1.00亿元，占比6.19%。

2、华特气体

华特气体是一家以特种气体为核心主营业务，辅以普通工业气体、相关气体设备与工程业务的工业气体公司。华特气体主营为光刻及其他混合气体、氢化物、普通工业气体、氟碳类、其他、焊接绝热气瓶及其附属设备、氮氧化合物、碳氧化合物。华特气体在电子特气市场中占据重要地位，其电子特气产品实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过85%的客户覆盖率。

2023年华特气体实现营业收入15亿元，同比下降16.80%。归母净利润为1.71亿元，同比下降17.18%。

2023年华特气体特种气体营业收入10.23亿元，占比68.16%。普通工业气体营业收入2.27亿元，占比15.13%。

3、南大光电

南大光电是国内领先的电子特气生产商之一，专注于研发、生产和销售高纯度的电子特气产品。南大光电的电子特气产品种类丰富，主要包括氢类电子特气和含氟电子特气两大类。

2023年南大光电实现营业收入约17.03亿元，归属于上市公司股东的净利润约2.12亿元，同比分别增长7.72%、13.26%。

2023年南大光电特气产品营业收入12.31亿元，占比72.3%。前驱体材料(含MO源)营业收入3.40亿元，占比19.93%。

4、雅克科技

雅克科技的电子特气业务主要通过其全资子公司成都科美特进行。科美特专注于含氟类特种气体的研发、生产、提纯与销售，主要产品包括六氟化硫和四氟化碳。雅克科技在电子特气领域拥有较高的市场地位，其产品质量和技术水平得到了国内外客户的广泛认可。

2023年雅克科技实现营业收入47.38亿元，同比增长11.24%；实现归属于上市公司股东的净利润5.80亿元，同比增长10.43%。

2023年雅克科技电子特种气体业务营业收入4.39亿元，占比9.26%。光刻胶及配套试剂业务营业收入13.04亿元，占比27.53%。

5、金宏气体

金宏气体是一家专业从事气体研发、生产、销售和服务的环保集约型综合气体供应商。金宏气体的电子特气产品种类丰富，主要包括超纯氨、高纯氧化亚氮（笑气）、氢气、二氧化碳、八氟环丁烷、高纯二氧化碳以及正硅酸乙酯等。金宏气体在国产特气领域居龙头地位，其电子特气产品已正式供应了中芯国际、海力士、镁光、联芯集成、积塔等一批知名半导体客户。

2023年金宏气体实现营业总收入24.27亿元，同比增长23.40%。归母净利润3.15亿元，同比增长37.48%。

2023年金宏气体特种气体营业收入10.90亿元，占比44.90%。大宗气体营业收入8.52亿元，占比35.09%。

五、电子特气行业发展前景

1、电子特气市场需求大

电子特气是半导体制造的关键原材料，主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。随着半导体产业的快速发展，尤其是集成电路和显示面板等高科技产品对高品质、高纯度电子特气的需求日益增大，电子特气市场需求呈现快速增长态势。此外，随着LED、光伏等产业的快速发展，这些领域对电子特气的需求也在不断增加。

2、国产化率提升

目前，我国电子特气的国产化率整体仍然较低。由于国内电子特气行业起步较晚，技术积累相对薄弱，同时面临着国际巨头的市场垄断和技术封锁，导致国内企业在电子特气领域的市场份额较小。但近年来，随着国内企业技术水平的提升和自主创新能力的增强，国产化率逐步提升。未来，国内企业将继续加大技术研发和创新投入，提高产品质量和性能，进一步提升国产化率。

3、技术创新驱动行业发展

随着科技的进步，半导体制造工艺不断升级，对电子特气的质量和性能要求也越来越高。这倒逼电子特气技术的不断创新和升级。技术创新能够提升电子特气的纯度、稳定性和一致性，从而满足高端制造业对高品质电子特气的需求。同时技术创新可以优化生产工艺，提高生产效率，降低原材料和能源消耗，从而降低生产成本。此外，技术创新能够推动电子特气在更多领域的应用，如新能源、生物医药等新兴产业，为电子特气行业带来新的增长点。