当前行业呈现“高端突破与普惠替代双轨并进”特征：头部企业依托全制程验证能力和晶圆厂生态绑定主导半导体/光伏高端市场；中游厂商聚焦垂直场景创新（如特高压绝缘/军工航天），以材料工艺与节能技术构建差异化壁垒；新兴势力则通过耗材部件国产化及设备智能化运维激活中小企业需求。核心挑战在于突破极紫外（EUV）配套空白与射频电源等高端部件依赖，未来竞争将加速向绿色制造（无油认证/低碳工艺）及全球化标准输出（SEMI/UL认证）维度升级。

2025年中国真空泵重点企业核心竞争力