为提高生产设备的妥善率与产品良率，以确保业者的生产效益与获利，台湾国科会自2004年开始与均豪精密工业公司及群录公司共同补助由成功大学制造所郑芳田教授所带领之研究团队，为期两年，致力于“智能型预测保养与虚拟量测技术“之开发计划。该研究团队所研发之技术，已成功地在面板显示器厂与半导体厂生产设备上完成功能与精度验证等工作。

　　成功大学制造工程研究所郑芳田教授表示，半导体与面板显示器产业是台湾目前最重要的两项高科技产业。此二产业投资规模庞大，各家厂商比的是量产规模，产能越大越具备生产效益。因此，在如此高的投资成本之下，如何让生产设备保持每天24小时不间断地正常运转且维持高良率就显得十分重要。

　　有鉴于此，在其进行的“智能型预测保养与虚拟量测“计划中，研发出一套智能型预测保养系统，该系统包含数个通用型嵌入式装置与远程主机，此通用型嵌入式装置可以嵌入于不同种类的设备中，以撷取设备之工程数据。此通用型嵌入式装置内更具有一个应用接口，用以发展应用模块。

　　郑芳田解释说，由于TFT-LCD之玻璃基板非常脆弱，在输送的过程中，若相邻两个输送模块之间的马达转速差异超过所能容许的限度时，将对玻璃基板造成刮伤而导致该基板报废。此外，若输送设备中侦测玻璃基板位置的传感器故障，将会导致玻璃基板相撞或冲出输送设备而造成破碎。因此，须建构一套预测保养系统，并发展一套具有动态加载功能的预测保养模块，用来侦测玻璃基板输送设备的马达转速之间的差异、传感器故障、与载具转换器(Cassette Changer)的定位高度差异等问题；并在发现异常时能发出一异常讯息给远程主机，且在可能造成玻璃基板损坏前，通知输送设备控制器进行紧急停机处理。

　　针对这些需求，该计划将解决方案与架构发展成一套可插入通用型嵌入式装置之预测保养模块。目前，此预测保养系统已成功地安装于均豪精密工业公司的TFT-LCD五代玻璃之输送装置及载具转换器上，充当展示机之用。

　　郑芳田指出，此虚拟量测技术已技转至奇美电子与台积电，将用来取代部分实际量测、实现逐片检测(Wafer-to-Wafer)模式之先进制程Run-to-Run控制、及减少(或免除)监控片的消耗量。

　　郑芳田表示，目前半导体与面板显示器产业都在大力推动E化制造(e-Manufacturing)，尤其是在积极建构设备工程系统，期能提升总体设备效能。此计划所研发的通用型嵌入式装置乃依照国际半导体协会所制订的设备工程接口规格(SEMI Interface A Standards)而设计，而且又具有一个应用接口，使各种设备工程系统的功能模块(如预测保养模块与虚拟量测模块等)能易于加入。此通用型嵌入式装置亦可被应用于如车用电子或其它科技产品之预测保养系统，极具商业潜力。