风囊泵又称为气动隔膜泵，是一种气体压缩设备，属于气动波纹管泵。风囊泵有两个工作腔，每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分，工作原理是采用压缩空气为动力源，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。

风囊泵通常由风囊、伺服电机、控制系统等部分组成，控制系统是其关键部分。控制系统包括传感器、控制器、反馈回路，通过监测液体流量和压力，并根据设定值进行调整，以实现对液体流量和压力的精确控制。根据压缩方式不同，风囊泵分为单作用式风囊泵、双作用式风囊泵两种。

风囊泵具有无泄漏、高精度、无需电源、介质输送稳定、耐腐蚀、噪音小、寿命长等特点，适用于输送高纯度、易挥发、低浓度、强腐蚀性、高粘度的介质，在化工、制药、环保、印染、光伏、半导体等领域应用广泛。

在半导体领域，风囊泵可用于酸、碱、水、溶剂等化学品输送，清洗剂输送及特定溶液输送，以确保半导体制造效率和质量。我国是全球最大的半导体市场，根据国家统计局数据显示，2023年1-10月，我国集成电路产量达2765.3亿块。风囊泵是槽式清洗机、湿法清洗机、化学机械抛光（CMP）机等设备的重要部件之一，随着半导体市场发展，半导体用风囊泵市场需求将进一步释放。

在全球市场上，半导体用风囊泵企业有美国白骑士、日本易威奇、美国Trebor、美国Pillar、意大利SAT、台湾帝隆、华林科纳、瑞择微、科百特、岩木科技等，其中美国白骑士、日本易威奇在国内市场的占比较高。半导体用风囊泵诞生于上世纪90年代，由于制造难点多，我国能实现自主研发及生产的企业较少。

风囊泵可用于高纯度液体输送，在制药、化工、半导体等领域应用广泛。半导体用风囊泵是半导体湿法制程的关键部件之一，在半导体产业链中起着不可或缺的作用，我国是半导体生产大国，半导体用风囊泵市场需求空间较大，但目前我国企业在半导体用风囊泵领域不具优势，与国外企业相比，在技术水平、品牌知名度等方面存在一定差距。