电子特气是指当气体中的电子浓度非常高时，电子的自由程比气体分子的自由程要短，导致气体分子与电子之间的相互作用显著增强，进而使气体分子电离并形成的一种高度电离的等离子体。电子特气具有高纯度、稳定性、多样性的特点，在电子工业中具有广泛的应用。

一、电子特气行业发展现状

1、全球电子特气市场规模

近年来，全球电子特气市场规模持续增长。

2023年全球电子特气市场规模56亿美元， 2024年全球电子特气市场规模将达60亿美元。

2、中国电子特气市场规模

中国电子特气市场规模同样呈现出稳步增长的趋势。2023年中国电子特气市场规模249亿元，随着集成电路和显示面板等半导体产业的快速发展，电子特气的需求将持续增长，2024年中国电子特气市场规模将达262.5亿元。

3、电子特气国产化率

国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破，自主供应能力不足。

我国电子特气国产化率较低，2020年电子特气国产化率仅14%，例如集成电路生产用的电子特气，我国仅能生产约20%的品种，所占国内市场份额仅为12%。预计2025年我国电子特气国产化率有望提升至25%。

4、电子特气下游应用

电子特种气体主要用于集成电路、显示面板、LED、光伏等领域。其中，集成电路占比最多，达43%。其次分别为显示面板、LED、光伏，占比分别为21%、13%、6%。

二、电子特气行业发展前景

1、电子特气市场需求大

电子特气是半导体制造的关键原材料，主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。随着半导体产业的快速发展，尤其是集成电路和显示面板等高科技产品对高品质、高纯度电子特气的需求日益增大，电子特气市场需求呈现快速增长态势。此外，随着LED、光伏等产业的快速发展，这些领域对电子特气的需求也在不断增加。

2、国产化率提升

目前，我国电子特气的国产化率整体仍然较低。由于国内电子特气行业起步较晚，技术积累相对薄弱，同时面临着国际巨头的市场垄断和技术封锁，导致国内企业在电子特气领域的市场份额较小。但近年来，随着国内企业技术水平的提升和自主创新能力的增强，国产化率逐步提升。未来，国内企业将继续加大技术研发和创新投入，提高产品质量和性能，进一步提升国产化率。

3、技术创新驱动行业发展

随着科技的进步，半导体制造工艺不断升级，对电子特气的质量和性能要求也越来越高。这倒逼电子特气技术的不断创新和升级。技术创新能够提升电子特气的纯度、稳定性和一致性，从而满足高端制造业对高品质电子特气的需求。同时技术创新可以优化生产工艺，提高生产效率，降低原材料和能源消耗，从而降低生产成本。此外，技术创新能够推动电子特气在更多领域的应用，如新能源、生物医药等新兴产业，为电子特气行业带来新的增长点。